半导体及太阳能薄膜工艺通常会涉及超高纯硅烷SiH4、磷烷PH3,砷烷AsH3等具有易燃、剧毒、强腐蚀等气体,但它们是精密半导体电子元器件、新能源光电产品制造的必不可少的重要原料。在生产中若发生气体泄漏,将会造成非常严重的产品质量和人身伤亡事故。所以为确保安全,此类超高纯特气的输送管道采用不锈钢双层管道工艺。
其中,在双层管道的构建中,阀门的密封性能尤为重要,可操纵机构与介质通路隔开,不但保证了管道介质的纯净,同时也防止管路中介质冲击操纵机构工作部件的可能性。
沃飞科技经过多位行业领先专家耗时多年优化而出的隔膜阀,采用先进的制造工艺和严格的质量控制,从而确保能满足半导体行业高纯度气体流体系统的应用需求。该产品由阀盖、阀体、隔膜、压缩机了、执行器、位置指示器等配件组成,利用柔性隔膜来阻碍、控制或隔离流体的流动。隔膜作为流量控制元件,向上或向下弯曲以分别增加或减少流体流速。当隔膜被压到阀体内的固体坝上时,阀门的密封作用就产生了。目前,该隔膜阀适用于腐蚀性、毒性、高纯气体、可燃性气体等气体。
长期以来,沃飞科技加快关键核心技术攻关,以创新引领产品、工艺的迭代和突破,不断创新、提高产品的质量和科技含量等各方面,以优质完善的售后服务与半导体等各界高科技产业对接,开展广泛的合作。除了科技赋能,在隔膜阀产品品质上,沃飞科技都会采用严苛的质量检测标准,该产品经过各种检验完全达到国标标准,而且做到五项检测达标,保压、氦检、水分、颗粒、氧份,以保障每一个优质的阀门都可以安全保障的提供给客户。此外,沃飞科技隔膜阀可以以多种连接方法连接,如通过螺纹、压缩接头、螺栓法兰、卡箍法兰、管接头、对接焊缝、承插焊缝和金属面密封件将隔膜阀连接到管道。
伴随半导体芯片需求不断增加,世界半导体电子格局正在进行不断壮大的洗礼,我国半导体行业也在不断飞速增长,要求在2025年前实现70%供应商市场自给率,从而带动了电子特气等上游原材料的发展,给特气阀门产业带来了更多的商机。为此,沃飞科技将聚焦半导体产业气体系统与配套设施,在半导体产业链循环中,补强产业链的关键节点,让气体使用变得更加安全,更加经济,更加便捷。
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